準(zhǔn)分子是一種半衰期非常短暫的分子狀態(tài),由同種原子或者異種原子組合而成。其中一種原子的價(jià)電子層必須是全滿的(比如稀有氣體)。如果兩種原子都處于基態(tài),它們是不能形成化學(xué)鍵的。但如果價(jià)電子全滿的那個(gè)原子處于激發(fā)態(tài),它們之間就能夠暫時(shí)形成化學(xué)鍵。盡管這種化學(xué)鍵的壽命往往非常短,準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)商,只在納秒的量級(jí)。準(zhǔn)分子可以通過自發(fā)輻射或受激輻射,釋放出光子回到基態(tài),基態(tài)的分子更加不穩(wěn)定,經(jīng)過幾個(gè)皮秒的時(shí)間,衰變成兩個(gè)未成鍵的原子。
準(zhǔn)分子激光由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體,準(zhǔn)分子預(yù)混氣多少錢,產(chǎn)生的準(zhǔn)分子激光波長為172nm。
1975年包括美國政府的海1軍研究實(shí)驗(yàn)室、諾思羅普研究和技術(shù)中心,準(zhǔn)分子預(yù)混氣公司,Avco Everett研究實(shí)驗(yàn)室,和美國桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室在內(nèi)的多家政府研究機(jī)構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。
1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺(tái)商業(yè)用準(zhǔn)分子激光器。
迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準(zhǔn)分子激光的氣體有10多種。
準(zhǔn)分子激光氣體應(yīng)用
準(zhǔn)分子激光氣體(Excimer Laser Gas Mixtures)包括AF(193nm),KrF(248nm),XeCl (308nm)預(yù)混氣體,唐山準(zhǔn)分子預(yù)混氣,主要應(yīng)用于眼科醫(yī)1療、光纖、半導(dǎo)體、材料科學(xué)、電子、平板等領(lǐng)域。作為當(dāng)今1有效,1可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表,準(zhǔn)分子激光器有效的推進(jìn)了諸如半導(dǎo)體,AMOLED平板顯示,薄膜,硅底板加工、有機(jī)金屬沉淀、高溫超導(dǎo)、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫(yī)1療、光纖、鉆石達(dá)標(biāo)設(shè)備及可替代能源等多種成長型工業(yè)中的技術(shù)更新。
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